干式無油真空泵
近來，半導體芯片制造產業發展提出的要求，作為高真空泵不能有油蒸氣存在，因此無油的渦輪分子泵、復合分子泵在該領域得到了廣泛的應用。但是，前級泵還沒有真正解決真空系統無油污染的技術難題。1984年以前研制過一些實驗室和專門用途的干式泵。但價格昂貴、運行間隙過小，很難在商業上推廣應用。國外首先研制了工業上實用的干式真空泵，將羅茨泵進行六級串聯。之后又出現羅茨和爪型轉子組合起來的無油泵。總之，相繼出現了多種型式的干式泵，主要應用于半導體產業。
干式真空泵也稱為無油真空泵。在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體。排氣口與大氣相通，能連續向大氣中排氣。能產生10.2Pa壓力范圍的真空。
干式真空泵是未來行業發展的趨勢，雖然現在用的還不多，除了價格高原因外，還有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業的未來經濟效益，小編在這里著重講下干式真空泵怎么進行優化選擇?
對于這些不同類型的干式真空泵，我們都渴望能夠將其物理尺寸減小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當然，還有一個影響真空泵的抽氣速率的重要因素，那就是轉速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉速。而想要改變真空泵的轉速有兩種方法，一是改變電源的頻率，即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個閉環控制，但在大負載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經濟的方法，當然，它只能提供不可控的單一轉速。
現在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設計，它們各自有著自己的特性和優缺點。一直以來，使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應該將真空泵運行的穩定性考慮進去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低，影響到晶圓的生產和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。由于螺桿式設計為單級設計，同多級泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的使用數量上減少了60%。這使得其在穩定性和將來的維修成本上有很大的優勢。
綜合考慮，如果用戶認為耗電量對他來說最為重要而氮氣用量對他來說最不重要，那么選擇內部壓縮型螺桿式可以是一個好的選擇。但普遍說來，對尾氣處理越來越嚴格的要求使得將來對減少氮氣的用量變得更重要。如果你希望用單一類型的泵不經過改變來處理各種不同的半導體工藝，而使得你的庫存控制簡單化，那么外部壓縮型螺桿式是你最好的選擇。
根據具體情形，綜合以上所有設計類型的優點一定是最理想的選擇，但目前還不太可能。因此，這就要求使用者首先要知道在干式泵的設計上有著如此多的不同設計類型，進而根據自身工藝特點了解各種不同類型泵的設計對其影響。這樣做出的選擇才能夠盡可能降低其使用成本，而獲得一個壽命較長的穩定的真空系統
