干式真空泵特點分析
近年來，干式機械真空泵得到迅速的發展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發研制工作，如東北大學、沈陽真空技術研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比 ( 單級壓縮比 ) 。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比 ( 指單級壓縮比 ) 。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據不同的用途加以選擇。
無油干式真空泵的特點：
1、在使用真空，排氣的場合也不含有油份，不會像油式真空泵那樣對作業環境或制品造成污染，能夠在各個領域使用。
2、與油式真空泵相比，不需要給泵加油，基本不需要點檢和檢修。
3、運費聲音低，使用壽命長。同時裝備有真空壓力表，調壓控制器。
4、由于使用了特殊的自潤滑碳精片，具有很強的耐磨性。
5、由于能夠高速運轉，因此可以與電機直連。這樣可使泵小型化。
6、由于多枚滑片的高速回轉，可使脈動很小，吸排氣穩定。
目前，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。
對于普通的無油真空系統來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。
干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1) 低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2) 半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3) 除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；4) 在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5) 用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
在醫藥化工生產過程中，涉及大量的真空分離過程，如有機溶媒的真空粗回收或低真空回收、高沸點熱敏性物料的高真空蒸餾、去除固體雜質的真空過濾、粉狀中間體或產品的真空干燥等，均要用到真空獲得設備-真空泵。真空泵的合理選擇和配置對真空分離過程的優化具有至關重要的意義。隨著GMP和ISO14001環境管理體系及OHSAS18001職業健康安全管理體系的推進實施，高效、節能、降耗、安全、環保在醫藥化工生產中已成為主旋律，與此相適應，醫藥化工領域的設備選擇和配置也面臨著新的更高的要求。本文著重就無油真空泵在醫藥化工清潔生產中的實踐應用作一粗淺的闡述。
